Author Affiliations +
Rik Jonckheere,1 Chien-Ching Wu,2 Veronique de Rooij-Lohmann,2 Dorus Elstgeest,2 Henk Lensen,2 Philipp Hönicke,3 Michael Kolbe,3 Victor Soltwisch,3 Claudia Zech,3 Frank Scholze,3 Remko Aubert,1 Vineet Vijayakrishnan Nair,1 Eric Hendrickx1
1IMEC (Belgium)
2TNO (Netherlands)
3Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany)